Granite base: Ngano nga kini ang "bulawan nga Kasosyo" sa mga makina sa Photolithography?

Sa paghimo sa semiconductor, ang makina sa photolithography usa ka hinungdanon nga aparato nga nagtino sa katukma sa mga chips, ug ang base sa granite, nga adunay daghang mga kinaiya, nahimo nga usa ka kinahanglanon nga sangkap sa makina sa photolithography.

Thermal stability: Ang "Shield" batok sa mga Pagbag-o sa Temperatura
Kung ang usa ka makina sa photolithography naglihok, nagmugna kini daghang kainit. Bisan ang pag-usab-usab sa temperatura nga 0.1 ℃ mahimong hinungdan sa deformation sa mga sangkap sa kagamitan ug makaapekto sa katukma sa photolithography. Ang coefficient sa thermal pagpalapad sa granite mao ang hilabihan ubos, lamang 4-8 × 10⁻⁶ / ℃, nga mao ang gibana-bana nga 1/3 sa steel ug 1/5 sa aluminum subong. Kini makahimo sa granite base sa pagpadayon sa dimensional kalig-on sa diha nga ang photolithography makina naglihok sa usa ka hataas nga panahon o sa diha nga ang environmental temperatura kausaban, pagsiguro sa tukma nga positioning sa optical components ug mekanikal nga mga istruktura.

Super anti-vibration performance: Ang "sponge" nga mosuhop sa vibration
Sa usa ka pabrika sa semiconductor, ang operasyon sa mga kagamitan sa palibot ug ang paglihok sa mga tawo mahimo’g makamugna og mga vibrations. Ang granite adunay taas nga densidad ug usa ka gahi nga texture, ug kini adunay maayo kaayo nga mga kabtangan sa damping, nga adunay usa ka damping ratio nga 2 hangtod 5 ka beses kaysa sa mga metal. Kung ang eksternal nga mga vibrations gipasa ngadto sa granite base, ang friction tali sa internal nga mga kristal nga mineral nag-convert sa vibration energy ngadto sa heat energy alang sa dissipation, nga makapakunhod sa vibration sa mubo nga panahon, nga nagtugot sa photolithography machine nga dali nga mapasig-uli ang kalig-on ug malikayan ang blurring o misalignment sa photolithography pattern tungod sa vibration.

Kalig-on sa kemikal: Ang "Tigbantay" sa Limpyo nga Kalikopan
Ang sulod sa usa ka makina sa photolithography moabut sa kontak sa lain-laing mga kemikal nga media, ug ordinaryo nga metal nga mga materyales kay prone sa corrosion o sa pagpagawas sa mga partikulo. Ang granite gilangkuban sa mga mineral sama sa quartz ug feldspar. Kini adunay lig-on nga kemikal nga mga kabtangan ug lig-on nga resistensya sa corrosion. Human nga matumog na sa acid ug alkali solutions, ang surface corrosion gamay ra kaayo. Samtang, ang dasok nga istruktura niini halos wala’y nahimo nga mga labi o abug, nga nakab-ot ang mga kinahanglanon sa labing kataas nga mga sumbanan sa limpyo nga kwarto ug gipamubu ang peligro sa kontaminasyon sa wafer.

Pagpasibo sa pagproseso: Ang "maayong materyal" alang sa paghimo sa tukma nga mga benchmark
Ang kinauyokan nga mga sangkap sa makina sa photolithography kinahanglan nga i-install sa usa ka taas nga katukma nga reference surface. Ang internal nga istruktura sa granite managsama ug kini dali nga maproseso sa labi ka taas nga katukma pinaagi sa paggaling, pagpasinaw ug uban pang mga pamaagi. Ang flatness niini mahimong moabot sa ≤0.5μm/m, ug ang surface roughness Ra kay ≤0.05μm, nga naghatag ug tukmang instalasyon nga basehanan sa mga component sama sa optical lens.

Taas nga kinabuhi ug wala’y pagmentinar: Ang "mga hait nga himan" alang sa pagkunhod sa gasto
Kon itandi sa metal nga mga materyales nga prone sa kakapoy ug cracking sa hataas-nga-termino sa paggamit, granite halos dili moagi sa plastic deformation o bali ubos sa normal nga mga karga, ug kini wala magkinahanglan sa nawong pagtambal, sa ingon paglikay sa risgo sa taklap pagpanit ug kontaminasyon. Sa praktikal nga mga aplikasyon, pagkahuman gigamit sa daghang mga tuig, ang mga yawe nga mga indikasyon sa pasundayag sa base sa granite mahimo pa nga magpabilin nga lig-on, nga makunhuran ang gasto sa operasyon ug pagpadayon sa mga kagamitan.

Gikan sa thermal stability, vibration resistance sa chemical inertness, ang daghang mga kinaiya sa granite base hingpit nga nagtagbo sa mga kinahanglanon sa photolithography machine. Samtang ang proseso sa paghimo sa chip nagpadayon sa pag-uswag padulong sa mas taas nga katukma, ang mga base sa granite magpadayon nga adunay dili mapulihan nga papel sa natad sa paghimo sa semiconductor.