Sa workshop sa paghimo sa semiconductor, ang mga kinahanglanon sa proseso sa paghimo sa chip alang sa mga kahimtang sa kalikopan ug katukma sa kagamitan labi ka grabe, ug ang bisan unsang gamay nga pagtipas mahimong hinungdan sa usa ka hinungdanon nga pagkunhod sa ani sa chip. Ang XYZT precision gantry movement platform nagsalig sa granite nga mga sangkap aron makigtambayayong sa ubang mga bahin sa plataporma aron makatukod og lig-on nga pundasyon alang sa pagkab-ot sa nanoscale accuracy.
Maayo kaayo nga vibration blocking properties
Sa semiconductor manufacturing workshop, ang operasyon sa peripheral nga kagamitan ug mga personahe nga naglakaw sa palibot mahimong hinungdan sa pagkurog. Ang internal nga istruktura sa mga sangkap sa granite dasok ug uniporme, nga adunay natural nga taas nga damping nga mga kinaiya, sama sa usa ka episyente nga "babag" sa vibration. Kung ang eksternal nga vibration gipasa ngadto sa XYZT nga plataporma, ang granite nga sangkap mahimo nga epektibo nga makapahuyang sa labaw sa 80% sa kusog sa vibration ug makunhuran ang interference sa vibration sa platform motion accuracy. Sa parehas nga oras, ang plataporma nasangkapan sa usa ka high-precision nga air float guide system, nga nagtrabaho kauban ang mga sangkap sa granite. Ang air float guide naggamit sa stable nga gas film nga naporma sa high pressure gas aron maamgohan ang contactless suspension nga kalihukan sa mga naglihok nga bahin sa plataporma ug makunhuran ang gamay nga vibration tungod sa mechanical friction. Mag-uban, gisiguro sa duha nga ang katukma sa pagpoposisyon sa plataporma kanunay nga gipadayon sa lebel sa nanometer sa mga hinungdan nga proseso sama sa chip lithography ug etching, ug likayan ang pagtipas sa mga pattern sa chip circuit tungod sa pagkurog.
Maayo kaayo nga thermal stability
Ang pag-usab-usab sa temperatura ug humidity sa workshop adunay dako nga impluwensya sa katukma sa mga kagamitan sa paghimo sa chip. Ang thermal expansion coefficient sa granite ubos kaayo, kasagaran sa 5-7 × 10⁻⁶ / ℃, ang gidak-on halos wala mausab kung ang temperatura mausab. Bisan kung ang kalainan sa temperatura tali sa adlaw ug gabii sa workshop o ang produksiyon sa kainit sa mga ekipo hinungdan sa pag-usab-usab sa temperatura sa palibot, ang mga sangkap sa granite mahimong magpabilin nga lig-on aron mapugngan ang deformation sa plataporma tungod sa pagpalapad sa init ug pagkunhod. Sa samang higayon, ang intelihenteng sistema sa pagkontrol sa temperatura nga nasangkapan sa plataporma nag-monitor sa ambient temperature sa tinuod nga panahon, awtomatik nga nag-adjust sa air conditioning ug heat dissipation equipment, ug nagmintinar sa temperatura sa workshop sa 20 ° C ± 1 ° C. Inubanan sa mga bentaha sa granite heat stability, pagsiguro nga ang plataporma sa taas nga termino nga operasyon, ang paglihok sa katukma sa matag axis sa axis kanunay nga makatagbo sa gidak-on sa chip nga nanometh, aron masiguro nga ang sumbanan sa chip nanometh kanunay nga nagtagbo sa gidak-on. tukma, etching giladmon mao ang uniporme.
Matubag ang mga panginahanglan sa limpyo nga palibot
Ang semiconductor manufacturing shop kinahanglan nga magpadayon sa usa ka taas nga lebel sa kalimpyo aron mapugngan ang mga partikulo sa abog nga makahugaw sa chip. Ang materyal nga granite mismo dili makahatag og abug, ug ang nawong hapsay, dili sayon nga masuhop ang abug. Ang plataporma sa kinatibuk-an nagsagop sa usa ka hingpit nga sirado o semi-closed nga disenyo sa istruktura aron makunhuran ang pagsulod sa gawas nga abog. Ang internal nga sistema sa sirkulasyon sa hangin nalambigit sa limpyo nga air conditioning system sa workshop aron masiguro nga ang internal nga kalimpyo sa hangin makaabot sa lebel nga gikinahanglan sa paghimo sa chip. Niini nga limpyo nga palibot, ang mga sangkap sa granite dili makaapekto sa pasundayag tungod sa pagbanlas sa abug, ug ang mga panguna nga sangkap sama sa mga high-precision sensor ug motor sa plataporma mahimo usab nga molihok nga lig-on, nga maghatag padayon ug kasaligan nga garantiya sa katukma sa nanoscale alang sa paghimo sa chip, ug pagtabang sa industriya sa semiconductor nga mobalhin sa mas taas nga lebel sa proseso.
Oras sa pag-post: Abr-14-2025