Sa workshop sa paggama og semiconductor, ang mga kinahanglanon sa proseso sa paggama og chip para sa mga kondisyon sa palibot ug katukma sa kagamitan hilabihan ka taas, ug ang bisan unsang gamay nga pagtipas mahimong mosangpot sa dakong pagkunhod sa ani sa chip. Ang plataporma sa paglihok sa XYZT precision gantry nagsalig sa mga sangkap sa granite aron makigtambayayong sa ubang mga bahin sa plataporma aron makahimo og lig-on nga pundasyon alang sa pagkab-ot sa nanoscale accuracy.
Maayo kaayo nga mga kabtangan sa pagbabag sa vibration
Sa semiconductor manufacturing workshop, ang operasyon sa peripheral equipment ug ang mga personahe nga naglakaw-lakaw mahimong hinungdan sa vibration. Ang internal nga istruktura sa mga granite components kay dasok ug uniporme, nga adunay natural nga taas nga damping characteristics, sama sa usa ka episyente nga vibration "barrier". Kung ang external vibration ipadala sa XYZT platform, ang granite component epektibong makapahuyang sa labaw sa 80% sa vibration energy ug makapakunhod sa interference sa vibration sa platform motion accuracy. Sa samang higayon, ang platform adunay high-precision air float guide system, nga mogana kauban sa granite components. Ang air float guide mogamit sa stable gas film nga giporma sa high pressure gas aron matuman ang contactless suspension movement sa naglihok nga mga parte sa platform ug makunhuran ang gamay nga vibration nga gipahinabo sa mechanical friction. Kung magdungan, ang duha nagsiguro nga ang platform positioning accuracy kanunay nga gimentinar sa nanometer level sa mga importanteng proseso sama sa chip lithography ug etching, ug malikayan ang deviation sa chip circuit patterns nga gipahinabo sa vibration.
Maayo kaayo nga kalig-on sa kainit
Ang pag-usab-usab sa temperatura ug humidity sa workshop adunay dakong impluwensya sa katukma sa mga kagamitan sa paggama og chip. Ang thermal expansion coefficient sa granite ubos kaayo, kasagaran sa 5-7 ×10⁻⁶/℃, ang gidak-on halos dili mausab kung mag-usab-usab ang temperatura. Bisan kung ang kalainan sa temperatura tali sa adlaw ug gabii sa workshop o ang produksiyon sa kainit sa kagamitan hinungdan sa pag-usab-usab sa temperatura sa palibot, ang mga sangkap sa granite mahimong magpabilin nga lig-on aron mapugngan ang pagkausab sa porma sa plataporma tungod sa thermal expansion ug contraction. Sa samang higayon, ang intelihenteng sistema sa pagkontrol sa temperatura nga nasangkapan sa plataporma nagmonitor sa temperatura sa palibot sa tinuod nga oras, awtomatikong nag-adjust sa air conditioning ug kagamitan sa pagpalapad sa kainit, ug nagmintinar sa temperatura sa workshop sa 20°C ±1°C. Inubanan sa mga bentaha sa granite heat stability, masiguro nga ang plataporma sa dugay nga operasyon, ang katukma sa paglihok sa matag axis kanunay nga makatuman sa mga sumbanan sa katukma sa nanometer sa paggama og chip, aron masiguro nga ang gidak-on sa pattern sa chip lithography tukma, ang giladmon sa etching parehas.
Pagtagbo sa mga panginahanglan sa limpyo nga palibot
Kinahanglan nga magmintinar ang taas nga lebel sa kalimpyo sa tindahan sa semiconductor aron malikayan ang mga partikulo sa abog nga makahugaw sa chip. Ang materyal nga granite mismo dili makamugna og abog, ug ang nawong hamis, dili dali masuhop ang abog. Ang plataporma sa kinatibuk-an nagsagop sa usa ka hingpit nga sirado o semi-sirado nga disenyo sa istruktura aron makunhuran ang pagsulod sa gawas nga abog. Ang internal nga sistema sa sirkulasyon sa hangin konektado sa limpyo nga sistema sa air conditioning sa workshop aron masiguro nga ang internal nga kalimpyo sa hangin makaabot sa lebel nga gikinahanglan sa paghimo og chip. Niining limpyo nga palibot, ang mga sangkap sa granite dili makaapekto sa performance tungod sa pagkaguba sa abog, ug ang mga importanteng sangkap sama sa mga high-precision sensor ug motor sa plataporma mahimo usab nga molihok nga lig-on, nga naghatag og padayon ug kasaligan nga garantiya sa katukma sa nanoscale alang sa paghimo og chip, ug makatabang sa industriya sa semiconductor nga mobalhin ngadto sa mas taas nga lebel sa proseso.
Oras sa pag-post: Abr-14-2025