Sa mga natad sama sa paghimo sa semiconductor ug mga instrumento sa pagsukod sa katukma, ang katukma sa mga platform sa katukma sa granite direkta nga nagtino sa kalidad sa operasyon sa kagamitan. Aron masiguro nga ang katukma sa plataporma nakab-ot ang mga sumbanan, ang mga paningkamot kinahanglan himuon gikan sa duha nga mga aspeto: ang pag-ila sa mga yawe nga indikasyon ug pagsunod sa mga sumbanan nga pamatasan. nga
Pagsusi sa core indicator: Multi-dimensional nga pagkontrol sa katukma
Flatness detection: Pagtino sa "flatness" sa reference plane
Ang flatness mao ang kinauyokan nga timailhan sa granite precision platform, ug kasagaran kini gisukod pinaagi sa laser interferometers o electronic nga lebel. Ang laser interferometer mahimong tukma nga pagsukod sa mga minuto nga undulations sa ibabaw sa plataporma pinaagi sa pagbuga sa usa ka laser beam ug paggamit sa prinsipyo sa light interference, nga adunay tukma nga pagkab-ot sa sub-micron nga lebel. Ang lebel sa elektroniko nagsukod pinaagi sa paglihok sa makadaghang higayon ug nagdrowing og three-dimensional nga contour nga mapa sa ibabaw sa plataporma aron mahibal-an kung adunay bisan unsang lokal nga mga protrusions o mga depresyon. Pananglitan, ang mga granite nga plataporma nga gigamit sa semiconductor photolithography nga mga makina gikinahanglan nga adunay patag nga ± 0.5μm/m, nga nagpasabot nga ang kalainan sa gitas-on sulod sa 1-metros nga gitas-on kinahanglang dili molapas sa tunga sa micrometer. Pinaagi lamang sa high-precision detection equipment masiguro kining estrikto nga sumbanan. nga
2. Pagkatul-id nga pagkakita: Siguroha ang "pagkatul-id" sa linear motion
Alang sa mga plataporma nga nagdala sa tukma nga paglihok nga mga bahin, ang pagkatul-id hinungdanon kaayo. Ang kasagarang mga pamaagi sa pagtuki mao ang wire method o ang laser collimator. Ang pamaagi sa wire naglakip sa pagsuspenso sa high-precision steel wires ug pagtandi sa gintang tali sa platform surface ug sa steel wires aron mahibal-an ang straightness. Ang laser collimator naggamit sa linear propagation nga mga kinaiya sa laser aron mahibal-an ang linear error sa instalasyon nga nawong sa plataporma nga giya sa riles. Kung ang pagkatul-id dili makab-ot ang sumbanan, kini ang hinungdan sa mga kagamitan nga mabalhin sa panahon sa paglihok, nga makaapekto sa pagproseso o katukma sa pagsukod. nga
3. Surface roughness detection: Siguroha ang "fineness" sa kontak
Ang kabangis sa nawong sa plataporma makaapekto sa pagkahaom sa pag-instalar sa component. Kasagaran, usa ka stylus roughness meter o usa ka optical microscope ang gigamit alang sa pag-ila. Ang instrumento nga tipo sa stylus nagrekord sa mga pagbag-o sa gitas-on sa mikroskopiko nga profile pinaagi sa pagkontak sa nawong sa plataporma gamit ang usa ka maayo nga pagsusi. Ang mga optical microscope mahimong direktang mag-obserbar sa texture sa nawong. Sa high-precision applications, ang surface roughness sa granite platforms kinahanglang kontrolahon sa Ra≤0.05μm, nga katumbas sa usa ka mirror-like effect, pagsiguro nga ang precision components mohaum pag-ayo sa panahon sa pag-instalar ug paglikay sa vibration o displacement tungod sa mga gaps. nga
Ang mga sumbanan sa katukma nagsunod: internasyonal nga mga lagda ug internal nga kontrol sa negosyo
Sa pagkakaron, sa tibuok kalibotan, ang ISO 25178 ug GB/T 24632 nga mga sukdanan kasagarang gigamit ingong basehanan sa pagtino sa katukma sa granite nga mga plataporma, ug adunay tin-aw nga mga klasipikasyon alang sa mga timailhan sama sa patag ug pagkatul-id. Dugang pa, ang mga high-end nga mga negosyo sa paghimo kanunay nga nagtakda sa labi ka higpit nga mga sumbanan sa pagkontrol sa internal. Pananglitan, ang gikinahanglan nga flatness alang sa granite nga plataporma sa photolithography machine mao ang 30% nga mas taas kaysa sa internasyonal nga sumbanan. Kung nagpahigayon mga pagsulay, ang gisukod nga datos kinahanglan itandi sa katugbang nga mga sumbanan. Ang mga plataporma lamang nga hingpit nga nagsunod sa mga sumbanan ang makasiguro sa lig-on nga pasundayag sa mga kagamitan sa katukma. nga
Ang pag-inspeksyon sa katukma sa mga platform sa katukma sa granite usa ka sistematikong proyekto. Pinaagi lamang sa estrikto nga pagsulay sa mga core indicators sama sa flatness, straightness, ug surface roughness, ug pagsunod sa internasyonal ug enterprise standards, masiguro ang taas nga katukma ug kasaligan sa plataporma, nga magbutang ug lig-on nga pundasyon alang sa high-end manufacturing fields sama sa semiconductor ug precision instruments.
Panahon sa pag-post: Mayo-21-2025