Ang granite kasagarang gigamit sa industriya sa semiconductor para sa paggama og mga kagamitan sa katukma, lakip na ang mga kagamitan sa pagproseso sa wafer. Kini tungod sa maayo kaayong mga kabtangan sa materyal sama sa taas nga pagkagahi, ubos nga thermal expansion, ug taas nga vibration damping. Naghatag kini og lig-on ug patag nga nawong, nga importante sa paghimo og gagmay nga mga electronic circuit sa mga wafer.
Kon mogamit og granite sa mga kagamitan sa pagproseso sa wafer, importante ang paghimo og hustong mga pag-amping aron masiguro ang labing taas nga kahusayan ug kalig-on. Ania ang pipila ka mga tip sa paggamit ug pagmentinar sa granite sa hustong paagi.
1. Hustong pagdumala ug pag-instalar
Ang granite usa ka bug-at kaayo ug dali mabuak nga materyal nga nanginahanglan og hustong pagdumala ug pag-instalar. Importante nga sigurohon nga ang nawong patag sa dili pa i-instalar. Ang bisan unsang dili patas nga pagkagama mahimong mosangpot sa kadaot sa kagamitan, nga makaapekto sa kalidad sa mga wafer nga gihimo. Ang granite kinahanglan nga atimanon pag-ayo ug kinahanglan nga dad-on ug i-instalar uban sa tabang sa espesyal nga kagamitan.
2. Regular nga pagpanglimpyo
Ang mga kagamitan sa pagproseso sa wafer nga naggamit og granite kinahanglan nga limpyohan kanunay aron malikayan ang pagtapok sa mga hugaw ug mga basura sa ibabaw. Ang pagtapok sa mga hugaw mahimong hinungdan sa mga garas o mosangpot sa pagporma sa mga liki, nga makaapekto sa kalidad sa mga wafer nga nahimo. Ang humok nga panapton ug usa ka malumo nga solusyon sa sabon mahimong igo na alang sa paglimpyo sa mga nawong sa granite. Ang mga mahait nga detergent ug kemikal kinahanglan likayan tungod kay kini makadaot sa ibabaw.
3. Pagmentinar nga pang-prebensiyon
Ang preventive maintenance importante aron masiguro nga ang wafer processing equipment mo-function og maayo. Ang kagamitan ug ang granite surface kinahanglan nga inspeksyunon kanunay, ug ang bisan unsang mga timailhan sa kadaot kinahanglan nga sulbaron dayon. Makatabang kini sa pag-ila sa mga problema og sayo ug pagpugong niini nga moresulta sa mas dagkong mga problema nga mas mahal ayohon.
4. Likayi ang thermal cycling
Ang granite sensitibo sa mga pagbag-o sa temperatura, ug ang thermal cycling kinahanglan likayan. Ang paspas nga pagbag-o sa temperatura mahimong hinungdan sa paglapad ug pagkipot sa granite, nga mosangpot sa pagliki o pagkabali sa nawong. Ang pagmintinar sa usa ka lig-on nga temperatura sa processing room makatabang sa pagpugong niini nga mahitabo. Dugang pa, importante nga likayan ang pagbutang og init nga mga butang sa ibabaw sa granite aron malikayan ang thermal shock.
Sa konklusyon, ang granite usa ka kasagarang gigamit nga materyal sa mga kagamitan sa pagproseso sa wafer tungod sa maayo niining mga kabtangan nga nakatampo sa paghimo og taas nga kalidad nga mga wafer. Aron masiguro ang labing taas nga kahusayan ug kalig-on, ang husto nga pagdumala, regular nga pagpanglimpyo, preventive maintenance, ug paglikay sa thermal cycling hinungdanon. Kini nga mga pamaagi makatabang sa pagpabilin sa kagamitan sa maayo kaayo nga kondisyon, nga moresulta sa labing maayo nga produktibidad ug taas nga kalidad nga mga wafer.
Oras sa pag-post: Disyembre 27, 2023
