Sa tukmang kadena sa paggama og semiconductor, ang sistema sa pagbalhin sa wafer sama sa "lifeline sa linya sa produksiyon sa chip", ug ang kalig-on ug katukma niini direktang nagtino sa rate sa ani sa mga chip. Ang bag-ong henerasyon sa mga sistema sa pagbalhin sa wafer rebolusyonaryong naghiusa sa mga linear motor nga adunay mga base sa granite, ug ang talagsaon nga mga bentaha sa mga materyales sa granite mao gyud ang kinauyokan nga code aron maablihan ang high-performance transmission.
nga
Base sa Granite: Pagtukod og "lig-on nga pundasyon" para sa lig-on nga transmisyon
Ang granite, nga nakaagi sa gatusan ka milyon nga mga tuig sa geological refinement, adunay dasok ug parehas nga internal mineral crystallization. Kini nga natural nga kinaiya naghimo niini nga usa ka sulundon nga base nga materyal alang sa mga wafer transfer system. Sa komplikado nga palibot sa mga semiconductor cleanroom, ang granite, uban ang ultra-low coefficient sa thermal expansion (5-7 ×10⁻⁶/℃ lamang), makasugakod sa kainit nga namugna atol sa operasyon sa kagamitan ug sa impluwensya sa mga pagbag-o sa temperatura sa palibot, nga nagsiguro sa kalig-on sa gidak-on sa base ug naglikay sa transmission path deviation nga gipahinabo sa thermal deformation. Ang talagsaon nga vibration damping performance niini dali nga makasuhop sa mechanical vibrations nga namugna atol sa pagsugod, pagsira ug pagpadali sa mga linear motor, ingon man ang mga external interferences nga gidala sa operasyon sa ubang kagamitan sa workshop, nga naghatag usa ka lig-on nga plataporma nga adunay "zero shake" alang sa wafer transmission.
Samtang, ang kemikal nga kalig-on sa granite nagsiguro nga dili kini madaot o tayaon sa mga semiconductor workshop diin ang mga acid ug alkali reagents dali moalisngaw ug gikinahanglan ang taas nga kalimpyo, sa ingon malikayan ang epekto sa katukma sa transmission tungod sa pagkatigulang sa materyal o pollutant adsorption. Ang hamis ug dasok nga mga kinaiya sa nawong mas epektibo nga makapakunhod sa abog nga pagtapot, makatuman sa estrikto nga mga sumbanan sa walay abog sa limpyo nga mga kwarto ug mawagtang ang risgo sa kontaminasyon sa wafer gikan sa gamot.
Ang epekto sa "bulawanong panag-uban" sa mga linear motor ug granite
Ang mga linear motor, nga adunay mga kinaiya nga walay mechanical transmission clearance, taas nga acceleration ug taas nga response speed, naghatag sa wafer transmission og mga bentaha nga "paspas, tukma ug lig-on". Ang granite base naghatag og lig-on ug kasaligan nga suporta nga plataporma para niini. Ang duha nagtinabangay aron makab-ot ang usa ka dako nga pag-uswag sa performance. Kung ang linear motor mopadagan sa wafer carrier sa granite base track, ang lig-on nga rigidity ug stability sa base nagsiguro sa episyente nga transmission sa motor driving force, nga malikayan ang force loss o transmission lag nga gipahinabo sa base deformation.
Tungod sa panginahanglan alang sa nanoscale precision, ang mga linear motor makab-ot ang sub-micron-level displacement control. Ang high-precision processing characteristics sa granite bases (nga adunay flatness errors nga kontrolado sulod sa ±1μm) hingpit nga mohaom sa tukmang pagkontrol sa linear motors, nga dungan nga nagsiguro nga ang positioning error atol sa wafer transmission kay ubos sa ±5μm. Bisan kon kini high-speed shuttling taliwala sa lain-laing mga kagamitan sa proseso o tukmang parking alang sa wafer handover, ang kombinasyon sa linear motors ug granite bases makasiguro sa "zero deviation ug zero jitter" sa wafer transmission.
Pagpamatuod sa praktis sa industriya: Doble nga pag-uswag sa kahusayan ug rate sa ani
Human sa pag-upgrade sa wafer transfer system niini, usa ka nanguna nga global semiconductor enterprise ang migamit og linear motor + granite base solution, nga nakapausbaw sa wafer transfer efficiency og 40%, nakapausbaw sa occurrence rate sa mga fault sama sa collision ug offset atol sa transfer process og 85%, ug nakapausbaw sa overall yield rate sa mga chips og 6%. Luyo sa datos anaa ang garantiya sa transmission stability nga gihatag sa granite base ug ang high-speed ug precise synergy effect sa linear motor, nga nakapausbaw pag-ayo sa loss ug error sa wafer transmission process.
Gikan sa mga kabtangan sa materyal ngadto sa katukma sa paggama, gikan sa mga bentaha sa performance ngadto sa praktikal nga beripikasyon, ang kombinasyon sa linear motors ug granite bases nagbag-o sa mga sumbanan sa mga wafer transfer system. Sa umaabot kung ang teknolohiya sa semiconductor mouswag ngadto sa 3nm ug 2nm nga mga proseso, ang mga materyales sa granite siguradong magpadayon sa pag-inject og kusog nga pagdasig sa pag-uswag sa industriya uban sa ilang dili mapulihan nga mga bentaha.
Oras sa pag-post: Mayo-14-2025