Ang Granite usa ka sagad nga gigamit nga materyal sa industriya sa semiconductor tungod sa maayo kaayo nga mekanikal nga mga kabtangan, kalig-on sa thermal, ug ubos nga coefficient sa pagpalapad sa thermal.Bisan pa, sa kanunay nga pagtaas sa panginahanglan alang sa mas taas nga katukma ug pagka-produktibo, ang mga alternatibong materyales mitumaw nga mahimo’g kapilian alang sa paghimo sa mga sangkap sa kagamitan sa semiconductor.Niini nga artikulo, atong susihon ang pipila sa mga alternatibong materyales alang sa granite nga mga bahin sa mga kagamitan sa semiconductor ug itandi ang ilang mga bentaha ug mga disbentaha.
Alternatibong Materyal para sa Granite Parts
1. Glass-ceramic nga mga materyales
Ang glass-ceramic nga mga materyales, sama sa Zerodur ug Cervit, nakabaton sa kaylap nga paggamit sa industriya sa semiconductor tungod sa ilang ubos nga thermal expansion coefficient, nga duol sa silicon.Tungod niini, kini nga mga materyales makahatag labi ka maayo nga kalig-on sa thermal ug gipauswag nga katukma sa proseso sa paghimo sa semiconductor.Ang Zerodur, sa partikular, adunay taas nga lebel sa homogeneity ug kalig-on, nga naghimo niini nga angay alang sa paghimo sa mga kagamitan sa lithography.
Bentaha:
- Ubos nga coefficient sa pagpalapad sa kainit
- Taas nga katukma ug kalig-on
- Angayan alang sa taas nga temperatura nga mga aplikasyon
Mga disbentaha:
- Mas taas nga gasto kumpara sa granite
- Medyo brittle, mahimong magbutang og mga hagit sa machining ug handling
2. Mga seramiko
Ang mga seramik nga materyales, sama sa aluminum oxide (Al2O3), silicon carbide (SiC), ug silicon nitride (Si3N4), adunay maayo kaayong mekanikal nga mga kabtangan, taas nga temperatura nga pagsukol, ug ubos nga thermal expansion coefficient.Kini nga mga kabtangan naghimo sa mga seramiko nga sulundon alang sa mga bahin sa kagamitan sa semiconductor nga nanginahanglan taas nga kalig-on sa thermal ug katukma, sama sa mga yugto sa wafer ug mga chuck.
Bentaha:
- Taas nga kalig-on sa kainit ug kusog
- Ubos nga thermal expansion coefficient
- Taas nga pagsukol sa pagsul-ob ug pagkadaot sa kemikal
Mga disbentaha:
- Mahimong brittle ug prone sa cracking, ilabi na sa panahon sa machining ug handling
- Ang machining ug pagpasinaw sa mga seramiko mahimong mahagiton ug makahurot sa panahon
3. Mga metal
Ang mga materyales nga nakabase sa metal, sama sa stainless steel ug titanium, gigamit alang sa pipila ka mga bahin sa kagamitan sa semiconductor tungod sa ilang maayo kaayo nga machinability ug taas nga kusog.Kasagaran kini gigamit sa mga aplikasyon diin wala kinahanglana ang taas nga kalig-on sa kainit, sama sa mga bahin sa chamber, mga coupling, ug mga feedthrough.
Bentaha:
- Maayo nga machinability ug weldability
- Taas nga kusog ug ductility
- Ubos nga gasto kon itandi sa pipila sa mga alternatibo nga mga materyales
Mga disbentaha:
- Taas nga thermal expansion coefficient
- Dili angay alang sa taas nga temperatura nga mga aplikasyon tungod sa mga isyu sa pagpalapad sa thermal
- Delikado sa corrosion ug kontaminasyon
Konklusyon:
Sa katingbanan, samtang ang granite usa ka popular nga kapilian alang sa mga bahin sa kagamitan sa semiconductor, ang mga alternatibong materyales mitumaw, ang matag usa adunay talagsaon nga mga bentaha ug mga disbentaha.Ang mga glass-ceramic nga materyales tukma kaayo ug lig-on apan mahimong brittle.Ang mga seramik lig-on ug adunay maayo kaayo nga thermal stability apan mahimo usab nga brittle, nga naghimo niini nga mas mahagiton sa paghimo.Ang mga metal dili mahal, machinable, ug ductile, apan kini adunay mas taas nga coefficient sa thermal expansion ug delikado sa corrosion ug kontaminasyon.Kung nagpili mga materyales alang sa mga kagamitan sa semiconductor, hinungdanon nga tagdon ang mga piho nga kinahanglanon sa aplikasyon ug pilia ang mga materyales nga nagbalanse sa gasto, pasundayag, ug kasaligan.
Oras sa pag-post: Mar-19-2024