Karon, sa paspas nga pag-uswag sa industriya sa semiconductor, ang pagsulay sa IC, ingon usa ka hinungdanon nga link aron masiguro ang paghimo sa mga chips, ang katukma ug kalig-on niini direkta nga makaapekto sa rate sa ani sa mga chips ug ang kompetisyon sa industriya. Samtang ang proseso sa paghimo sa chip nagpadayon sa pag-abante padulong sa 3nm, 2nm ug labi pa nga mga advanced node, ang mga kinahanglanon alang sa kinauyokan nga mga sangkap sa kagamitan sa pagsulay sa IC nahimong labi ka estrikto. Ang mga base sa granite, uban ang ilang talagsaon nga materyal nga mga kabtangan ug mga bentaha sa pasundayag, nahimo nga usa ka kinahanglanon nga "bulawan nga kauban" alang sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC. Unsang teknikal nga lohika ang anaa sa luyo niini?
I. Ang "Kawalay Katakus sa Pagsagubang" sa Tradisyonal nga mga Base
Atol sa proseso sa pagsulay sa IC, ang mga ekipo kinahanglan nga tukma nga makamatikod sa electrical performance sa chip pins, signal integrity, ug uban pa sa nanoscale. Bisan pa, ang tradisyonal nga mga base sa metal (sama sa cast iron ug steel) nagbutyag sa daghang mga problema sa praktikal nga mga aplikasyon.
Sa usa ka bahin, ang coefficient sa thermal expansion sa metallic nga mga materyales medyo taas, kasagaran labaw sa 10 × 10⁻⁶ / ℃. Ang kainit nga namugna sa panahon sa operasyon sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC o bisan gamay nga pagbag-o sa temperatura sa ambient mahimong hinungdan sa hinungdanon nga pagpalapad sa kainit ug pagkunhod sa base sa metal. Pananglitan, ang usa ka 1-meter-long cast iron base mahimong molapad ug makontrata hangtod sa 100μm kung ang temperatura mausab sa 10 ℃. Ang ingon nga mga pagbag-o sa dimensyon igo na aron ma-misalign ang test probe sa mga chip pin, nga moresulta sa dili maayo nga kontak ug pagkahuman hinungdan sa pagtuis sa datos sa pagsulay.
Sa laing bahin, ang damping performance sa metal nga base dili maayo, nga nagpalisud sa dali nga pagkonsumo sa kusog sa vibration nga namugna sa operasyon sa mga ekipo. Sa senaryo sa high-frequency signal testing, padayon nga micro-oscillation magpaila sa usa ka dako nga kantidad sa kasaba, sa pagdugang sa sayop sa signal integridad testing sa labaw pa kay sa 30%. Dugang pa, ang mga metal nga materyales adunay taas nga magnetic susceptibility ug dali nga mag-uban sa mga electromagnetic signal sa mga kagamitan sa pagsulay, nga miresulta sa mga pagkawala sa eddy karon ug mga epekto sa hysteresis, nga makabalda sa katukma sa tukma nga mga pagsukod.
Ii. Ang "Hardcore Strength" sa Granite Bases
Katapusan nga kalig-on sa kainit, nga nagbutang sa pundasyon alang sa tukma nga pagsukod
Ang Granite naporma pinaagi sa hugot nga kombinasyon sa mga mineral nga kristal sama sa quartz ug feldspar pinaagi sa ionic ug covalent bonds. Ang coefficient sa thermal expansion kay ubos kaayo, 0.6-5x10⁻⁶/℃ lang, nga gibana-bana nga 1/2-1/20 sa metallic nga materyales. Bisan kung ang temperatura nagbag-o sa 10 ℃, ang pagpalapad ug pagkunhod sa 1-metros nga gitas-on nga granite base dili mubu sa 50nm, hapit makab-ot ang "zero deformation". Samtang, ang thermal conductivity sa granite kay 2-3 W/(m · K), nga mas ubos kay sa 1/20 sa mga metal. Kini epektibo nga makapugong sa pagpadagan sa kainit sa mga ekipo, pagpabilin sa temperatura sa ibabaw sa base nga uniporme, ug pagsiguro nga ang test probe ug ang chip kanunay nga magpadayon sa usa ka kanunay nga relatibong posisyon.
2. Ang sobrang kusog nga pagsumpo sa vibration nagmugna og usa ka lig-on nga palibot sa pagsulay
Ang talagsaon nga mga depekto sa kristal ug mga utlanan sa lugas nga sliding nga istruktura sa sulod sa granite naghatag niini sa usa ka kusog nga kapasidad sa pagwagtang sa enerhiya, nga adunay usa ka damping ratio nga hangtod sa 0.3-0.5, nga labaw pa sa unom ka pilo sa base sa metal. Gipakita sa eksperimento nga datos nga ubos sa vibration excitation sa 100Hz, ang vibration attenuation time sa granite base mao lamang ang 0.1 segundos, samtang ang sa cast iron base mao ang 0.8 segundos. Kini nagpasabut nga ang base sa granite mahimo dayon nga sumpuon ang mga vibrations nga gipahinabo sa pagsugod ug pagsira sa kagamitan, mga epekto sa gawas, ug uban pa, ug makontrol ang amplitude sa vibration sa platform sa pagsulay sa sulod sa ± 1μm, nga naghatag usa ka lig-on nga garantiya alang sa pagposisyon sa mga nanoscale probes.
3. Natural nga anti-magnetic nga mga kabtangan, pagwagtang sa electromagnetic interference
Ang Granite usa ka diamagnetic nga materyal nga adunay magnetic susceptibility nga gibana-bana nga -10 ⁻⁵. Ang internal nga mga electron anaa sa mga pares sulod sa kemikal nga mga gapos ug halos dili gayud polarized sa gawas nga magnetic field. Sa usa ka lig-on nga magnetic field palibot sa 10mT, ang induced magnetic field intensity sa ibabaw sa granite mao ang ubos pa kay sa 0.001mT, samtang nga sa ibabaw sa nawong sa cast puthaw mao ang ingon ka taas sa labaw pa kay sa 8mT. Kini nga natural nga anti-magnetic nga kabtangan mahimo’g makamugna usa ka putli nga palibot sa pagsukod alang sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC, nga mapanalipdan kini gikan sa panghilabot sa gawas nga electromagnetic sama sa mga motor sa workshop ug mga signal sa RF. Kini labi nga angay alang sa pagsulay sa mga senaryo nga labi ka sensitibo sa electromagnetic noise, sama sa mga quantum chips ug high-precision ADCs/Dacs.
Ikatulo, ang praktikal nga aplikasyon nakab-ot ang talagsaong mga resulta
Ang mga gawi sa daghang mga negosyo nga semiconductor hingpit nga nagpakita sa kantidad sa mga base sa granite. Human ang usa ka globally renowned semiconductor testing equipment manufacturer misagop sa usa ka granite base sa iyang high-end 5G chip testing platform, nakab-ot niini ang katingad-an nga mga resulta: ang positioning accuracy sa probe card misaka gikan sa ± 5μm ngadto sa ± 1μm, ang standard deviation sa test data mikunhod sa 70%, ug ang misjudgment rate sa usa ka test mikunhod pag-ayo gikan sa 0.0.5%. Samtang, ang epekto sa pagsumpo sa vibration talagsaon. Ang mga ekipo mahimong magsugod sa pagsulay nga dili maghulat nga madunot ang vibration, mub-an ang us aka siklo sa pagsulay sa 20% ug madugangan ang tinuig nga kapasidad sa produksiyon sa kapin sa 3 milyon nga mga wafer. Dugang pa, ang base sa granite adunay kinabuhi nga kapin sa 10 ka tuig ug wala magkinahanglan kanunay nga pagmentinar. Kung itandi sa mga base sa metal, ang kinatibuk-ang gasto niini mikunhod sa labaw sa 50%.
Ikaupat, ipahiangay sa mga uso sa industriya ug pangunahan ang pag-upgrade sa teknolohiya sa pagsulay
Uban sa pag-uswag sa mga advanced nga teknolohiya sa pagputos (sama sa Chiplet) ug ang pagtaas sa mga nag-uswag nga mga natad sama sa mga quantum computing chips, ang mga kinahanglanon alang sa pasundayag sa aparato sa pagsulay sa IC magpadayon nga motaas. Ang mga base sa granite kanunay usab nga nagbag-o ug nag-upgrade. Pinaagi sa pagtambal sa ibabaw nga coating aron mapalambo ang pagsukol sa pagsul-ob o pinaagi sa paghiusa sa mga piezoelectric nga seramiko aron makab-ot ang aktibo nga kompensasyon sa vibration ug uban pang mga pagkahugno sa teknolohiya, sila naglihok padulong sa usa ka labi ka tukma ug intelihenteng direksyon. Sa umaabot, ang granite base magpadayon sa pagpanalipod sa teknolohikal nga kabag-ohan sa industriya sa semiconductor ug ang taas nga kalidad nga pag-uswag sa "Chinese chips" uban sa iyang talagsaong performance.
Ang pagpili sa usa ka granite base nagpasabut sa pagpili sa usa ka mas tukma, lig-on ug episyente nga solusyon sa pagsulay sa IC. Bisan kung kini ang karon nga advanced nga proseso sa pagsulay sa chip o ang umaabot nga pagsuhid sa mga teknolohiya sa pagputol, ang base sa granite adunay dili mapulihan ug hinungdanon nga papel.
Panahon sa pag-post: Mayo-15-2025