Karon, uban sa paspas nga pag-uswag sa industriya sa semiconductor, ang pagsulay sa IC, isip usa ka importante nga sumpay aron masiguro ang performance sa mga chips, ang katukma ug kalig-on niini direktang makaapekto sa yield rate sa mga chips ug sa kompetisyon sa industriya. Samtang ang proseso sa paghimo og chip nagpadayon sa pag-uswag padulong sa 3nm, 2nm ug mas abante nga mga node, ang mga kinahanglanon alang sa mga core component sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC nagkaanam ka estrikto. Ang mga base sa granite, uban sa ilang talagsaon nga mga kabtangan sa materyal ug mga bentaha sa performance, nahimong usa ka kinahanglanon nga "golden partner" alang sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC. Unsang teknikal nga lohika ang nagpaluyo niini?
I. Ang "Kawalay-Kaarang sa Pagsagubang" sa Tradisyonal nga mga Base
Atol sa proseso sa pagsulay sa IC, ang kagamitan kinahanglan nga tukma nga makamatikod sa electrical performance sa mga chip pin, signal integrity, ug uban pa sa nanoscale. Bisan pa, ang tradisyonal nga mga metal base (sama sa cast iron ug steel) nakabutyag sa daghang mga problema sa praktikal nga mga aplikasyon.
Sa usa ka bahin, ang coefficient sa thermal expansion sa mga metal nga materyales medyo taas, kasagaran labaw sa 10×10⁻⁶/℃. Ang kainit nga namugna atol sa pag-operate sa IC testing equipment o bisan gamay nga mga pagbag-o sa ambient temperature mahimong hinungdan sa dakong thermal expansion ug pagkunhod sa metal base. Pananglitan, ang usa ka 1-metros nga gitas-on nga cast iron base mahimong molapad ug mokunhod hangtod sa 100μm kung ang temperatura mausab sa 10℃. Ang ingon nga mga pagbag-o sa dimensyon igo na aron dili ma-align ang test probe sa mga chip pin, nga moresulta sa dili maayo nga kontak ug sa ulahi hinungdan sa pagtuis sa datos sa pagsulay.
Sa laing bahin, ang damping performance sa metal base dili maayo, nga nagpalisod sa dali nga pagkonsumo sa vibration energy nga namugna sa operasyon sa kagamitan. Sa senaryo sa high-frequency signal testing, ang padayon nga micro-oscillation mopaila og daghang noise, nga modugang sa error sa signal integrity testing og sobra sa 30%. Dugang pa, ang mga metal nga materyales adunay taas nga magnetic susceptibility ug dali nga mo-coupling sa electromagnetic signals sa testing equipment, nga moresulta sa eddy current losses ug hysteresis effects, nga makabalda sa katukma sa tukmang mga sukod.
Ii. Ang "Lig-on nga Kusog" sa mga Base sa Granite
Kinatas-ang kalig-on sa kainit, nga nagpahimutang sa pundasyon alang sa tukmang pagsukod
Ang granite naporma pinaagi sa hugot nga kombinasyon sa mga kristal sa mineral sama sa quartz ug feldspar pinaagi sa ionic ug covalent bond. Ang coefficient sa thermal expansion niini ubos kaayo, 0.6-5×10⁻⁶/℃ lang, nga gibana-bana nga 1/2-1/20 sa mga metal nga materyales. Bisan kung ang temperatura mausab og 10℃, ang pagpalapad ug pagkunhod sa 1-metros nga granite base ubos sa 50nm, hapit makab-ot ang "zero deformation". Samtang, ang thermal conductivity sa granite 2-3 W/(m · K) lang, nga ubos sa 1/20 sa mga metal. Epektibo niini nga mapugngan ang heat conduction sa kagamitan, mapadayon ang uniporme nga temperatura sa ibabaw sa base, ug masiguro nga ang test probe ug ang chip kanunay nga magpabilin nga parehas nga relatibong posisyon.
2. Ang kusog kaayo nga pagpugong sa pag-vibrate nagmugna og lig-on nga palibot sa pagsulay
Ang talagsaon nga mga depekto sa kristal ug ang istruktura sa pag-slide sa utlanan sa lugas sa sulod sa granite naghatag niini og kusog nga kapasidad sa pag-dissipate sa enerhiya, nga adunay damping ratio nga hangtod sa 0.3-0.5, nga labaw pa sa unom ka pilo sa metal nga base. Ang datos sa eksperimento nagpakita nga ubos sa vibration excitation nga 100Hz, ang oras sa pag-attenuation sa vibration sa granite base kay 0.1 segundos lamang, samtang ang sa cast iron base kay 0.8 segundos. Kini nagpasabot nga ang granite base dali nga makapugong sa mga vibration nga gipahinabo sa pagsugod ug pag-shutdown sa kagamitan, mga eksternal nga epekto, ug uban pa, ug makontrol ang vibration amplitude sa test platform sulod sa ±1μm, nga naghatag og lig-on nga garantiya alang sa posisyon sa mga nanoscale probes.
3. Natural nga anti-magnetic nga mga kabtangan, nga nagwagtang sa electromagnetic interference
Ang granite usa ka diamagnetic nga materyal nga adunay magnetic susceptibility nga gibana-bana nga -10 ⁻⁵. Ang mga internal nga electron anaa nga nagpares-pares sulod sa mga chemical bond ug halos dili gyud ma-polarize sa external magnetic fields. Sa usa ka kusog nga magnetic field environment nga 10mT, ang induced magnetic field intensity sa ibabaw sa granite ubos sa 0.001mT, samtang ang sa ibabaw sa cast iron sama kataas sa labaw sa 8mT. Kini nga natural nga anti-magnetic nga kabtangan makahimo og usa ka puro nga palibot sa pagsukod alang sa mga kagamitan sa pagsulay sa IC, nga manalipod niini gikan sa external electromagnetic interference sama sa mga workshop motor ug RF signal. Kini labi ka angay alang sa mga senaryo sa pagsulay nga sensitibo kaayo sa electromagnetic noise, sama sa quantum chips ug high-precision ADCs/Dacs.
Ikatulo, ang praktikal nga aplikasyon nakab-ot ang talagsaong mga resulta
Ang mga pamaagi sa daghang mga negosyo sa semiconductor hingpit nga nagpakita sa bili sa mga granite base. Human ang usa ka bantogan sa tibuok kalibutan nga tiggama sa kagamitan sa pagsulay sa semiconductor nagsagop sa granite base sa ilang high-end nga 5G chip testing platform, nakab-ot niini ang katingalahang mga resulta: ang katukma sa pagposisyon sa probe card misaka gikan sa ±5μm ngadto sa ±1μm, ang standard deviation sa datos sa pagsulay mikunhod og 70%, ug ang sayop nga paghukom sa usa ka pagsulay mikunhod pag-ayo gikan sa 0.5% ngadto sa 0.03%. Samtang, ang epekto sa pagpugong sa vibration talagsaon. Ang kagamitan makasugod sa pagsulay nga dili maghulat nga madunot ang vibration, nga makapamubo sa single test cycle og 20% ug makadugang sa tinuig nga kapasidad sa produksiyon og sobra sa 3 milyon nga wafer. Dugang pa, ang granite base adunay kinabuhi nga sobra sa 10 ka tuig ug dili kinahanglan og kanunay nga pagmentinar. Kung itandi sa mga metal base, ang kinatibuk-ang gasto niini mikunhod og sobra sa 50%.
Ikaupat, mopahiangay sa mga uso sa industriya ug manguna sa pag-upgrade sa teknolohiya sa pagsulay
Uban sa pag-uswag sa mga abanteng teknolohiya sa pagputos (sama sa Chiplet) ug sa pag-usbaw sa mga bag-ong natad sama sa quantum computing chips, ang mga kinahanglanon alang sa performance sa device sa IC testing padayon nga mosaka. Ang mga granite base kanunay usab nga nag-innovate ug nag-upgrade. Pinaagi sa surface coating treatment aron mapalambo ang wear resistance o pinaagi sa paghiusa sa piezoelectric ceramics aron makab-ot ang active vibration compensation ug uban pang mga teknolohikal nga kalampusan, kini nagpadulong sa mas tukma ug intelihente nga direksyon. Sa umaabot, ang granite base magpadayon sa pagpanalipod sa teknolohikal nga inobasyon sa industriya sa semiconductor ug ang taas nga kalidad nga pag-uswag sa "Chinese chips" uban ang talagsaon nga performance niini.
Ang pagpili og granite base nagpasabot og pagpili og mas tukma, lig-on, ug episyente nga solusyon sa IC testing. Bisan kon kini ang kasamtangang abante nga process chip testing o ang umaabot nga pagsuhid sa mga pinakabag-ong teknolohiya, ang granite base adunay dili mapulihan ug importante nga papel.
Oras sa pag-post: Mayo-15-2025