Ultra-Precision Granite Base para sa Inspeksyon ug Metrolohiya sa Wafer

1. Superyor nga Siyensiya sa Materyales: ZHHIMG® Itom nga Granite

Dili sama sa standard granite o, mas grabe pa, ubos nga klase sa marmol nga gigamit sa dili kaayo estrikto nga mga tiggama, ang mga base sa ZHHIMG gihimo lamang gikan sa among proprietary ZHHIMG® Black Granite.

● Talagsaong Densidad: Ang among materyal adunay impresibong densidad nga ≈ 3100 kg/m³, mas maayo kay sa daghang naandan nga itom nga granite gikan sa Europa ug Amerika.

● Kalig-on sa Init: Ang taas nga densidad ug gamay nga pagsuhop sa tubig nagsiguro sa labaw nga kalig-on sa dimensyon, nga dako nga nagpamenos sa epekto sa thermal drift atol sa kritikal nga mga siklo sa inspeksyon.

● Pag-uyog sa Pag-vibrate: Ang natural nga istruktura sa mineral naghatag ug talagsaong internal damping, nga hinungdanon alang sa pagbulag sa sensitibo nga mga optika ug sensor gikan sa eksternal nga pag-vibrate.

2. Walay Katumbas nga Kaarang sa Paggama ug Pag-assemble

Ang among pasalig sa katukma gisumada sa among kinauyokan nga gituohan: "Ang negosyo sa katukma dili mahimong sobra ka estrikto."

● Eksperto sa Kahanas: Ang among mga base gi-lapping sa kamot sa mga eksperto nga teknisyan, kadaghanan kanila adunay kapin sa 30 ka tuig nga kasinatian, kinsa makab-ot ang pagkapatag sa nawong ug paralelismo hangtod sa lebel sa nanometer—ang katukma gipamatud-an sa Renishaw Laser Interferometers ug WYLER Electronic Levels.

● Kontroladong Palibot: Ang pagmachine ug final assembly gihimo sulod sa among 10,000 m² nga Temperature- and Humidity-Controlled Cleanroom (nga nagsundog sa estrikto nga mga kondisyon sa semiconductor fab). Kini nga pasilidad adunay 1000 mm nga gibag-on nga pundasyon sa konkreto ug 2000 mm nga giladmon nga anti-vibration trenches, nga nagsiguro sa usa ka tinuod nga lig-on nga palibot sa metrolohiya.

3. Integrated Precision Design (Sama sa Gipakita sa Hulagway)

Ang base kasagarang gihatag isip usa ka komplikado nga asembliya, nga kasagaran naglakip sa:

● Mga Istruktura nga Porma-L/Gantry: Gidisenyo aron suportahan ang bertikal nga paglihok (Z-axis) sa mga ulo sa imaging, nga nagsiguro sa orthogonality ug geometric nga katukma.

● Mga Precision Grooves ug Inserts: Mga pre-machined nga nawong nga adunay threaded steel inserts ug precision dowel holes para sa pag-mount sa air bearings, linear motors (XY Table), vision systems, ug guide rails (THK, HIWIN, Rexroth).

● Pag-customize: Espesyalista kami sa dagkong makinarya, nga makahimo sa paghatud sa mga monolithic granite base nga hangtod sa 20m ang gitas-on ug 100 ka tonelada ang gibug-aton, nga gipahaum gayud sa imong kagamitan.