Sa tukma nga kadena sa paghimo sa semiconductor, ang sistema sa pagbalhin sa wafer sama sa "lifeline sa linya sa produksiyon sa chip", ug ang kalig-on ug katukma niini direkta nga nagtino sa rate sa ani sa mga chips. Ang bag-ong henerasyon sa mga sistema sa pagbalhin sa wafer rebolusyonaryo nga naghiusa sa mga linear nga motor nga adunay mga base sa granite, ug ang talagsaon nga mga bentaha sa mga materyales nga granite mao gyud ang core code aron maablihan ang high-performance transmission.
nga
Granite base: Pagtukod ug "bato nga lig-on nga pundasyon" alang sa lig-on nga transmission
Ang Granite, nga nakaagi sa gatusan ka milyon nga mga tuig nga pagdalisay sa geological, adunay dasok ug parehas nga internal nga kristal nga mineral. Kini nga natural nga kinaiya naghimo niini nga usa ka sulundon nga base nga materyal alang sa mga sistema sa pagbalhin sa wafer. Sa komplikado nga palibot sa semiconductor cleanrooms, granite, uban sa iyang ultra-ubos nga coefficient sa thermal pagpalapad (lamang 5-7 × 10⁻⁶/℃), makasukol sa kainit nga namugna sa panahon sa mga ekipo operasyon ug sa impluwensya sa environmental temperatura kausaban, pagsiguro sa kalig-on sa base gidak-on ug paglikay sa transmission dalan pagtipas tungod sa thermal deformation. Ang talagsaon nga vibration damping performance dali nga makasuhop sa mekanikal nga mga vibrations nga namugna sa panahon sa pagsugod, pagsira ug pagpadali sa mga linear nga motor, ingon man ang mga eksternal nga interference nga gidala sa operasyon sa ubang mga ekipo sa workshop, nga naghatag og usa ka lig-on nga plataporma nga adunay "zero shake" alang sa wafer transmission. nga
Samtang, ang kemikal nga kalig-on sa granite nagsiguro nga kini dili corrode o taya sa semiconductor workshops diin acid ug alkali reagents mao ang dali ug taas nga kalimpyo gikinahanglan, sa ingon paglikay sa epekto sa transmission tukma tungod sa materyal nga pagkatigulang o pollutant adsorption. Ang hamis ug dasok nga mga kinaiya sa nawong mahimong mas epektibo nga makunhuran ang pagdikit sa abug, pagtagbo sa higpit nga mga sumbanan nga wala’y abog sa limpyo nga mga kwarto ug pagwagtang sa peligro sa kontaminasyon sa wafer gikan sa gamut. nga
Ang "bulawan nga panag-uban" nga epekto sa mga linear nga motor ug granite
Ang mga linear nga motor, nga adunay ilang mga kinaiya nga walay mekanikal nga transmission clearance, taas nga pagpatulin ug taas nga tulin sa pagtubag, naghatag sa wafer transmission nga adunay mga bentaha nga "paspas, tukma ug lig-on". Ang granite base naghatag og lig-on ug kasaligan nga suporta nga plataporma alang niini. Ang duha nagtinabangay aron makab-ot ang usa ka paglukso sa pasundayag. Kung ang linear nga motor nagmaneho sa wafer carrier nga modagan sa granite base track, ang lig-on nga rigidity ug kalig-on sa base nagsiguro sa episyente nga transmission sa motor driving force, paglikay sa pagkawala sa puwersa o transmission lag tungod sa base deformation. nga
Giduso sa panginahanglan alang sa nanoscale precision, ang mga linear nga motor mahimo’g makab-ot ang kontrol sa pagbalhin sa lebel sa sub-micron. Ang mga kinaiya sa pagproseso sa taas nga katukma sa mga base sa granite (nga adunay mga kasaypanan sa flatness nga kontrolado sa sulod sa ± 1μm) hingpit nga mohaum sa tukma nga pagkontrol sa mga linear nga motor, hiniusang pagsiguro nga ang sayup sa pagpoposisyon sa panahon sa pagpasa sa wafer dili mubu sa ± 5μm. Kung kini high-speed shuttling taliwala sa lain-laing mga kagamitan sa proseso o tukma nga pag-parking alang sa wafer handover, ang kombinasyon sa mga linear nga motor ug granite nga base makasiguro sa "zero deviation ug zero jitter" sa wafer transmission. nga
Pag-verify sa praktis sa industriya: Doble nga pag-uswag sa kahusayan ug rate sa ani
Pagkahuman sa pag-upgrade sa sistema sa pagbalhin sa wafer niini, usa ka nanguna nga global nga semiconductor nga negosyo ang nagsagop sa usa ka linear motor + granite base nga solusyon, nga nagdugang ang kahusayan sa pagbalhin sa wafer sa 40%, nakunhuran ang rate sa pagkahitabo sa mga sayup sama sa pagbangga ug pag-offset sa proseso sa pagbalhin sa 85%, ug gipauswag ang kinatibuk-ang rate sa ani sa mga chips sa 6%. Sa luyo sa datos nahimutang ang garantiya sa kalig-on sa transmission nga gihatag sa granite base ug ang high-speed ug tukma nga synergy nga epekto sa linear nga motor, nga makapamenos sa pagkawala ug sayup sa proseso sa pagpasa sa wafer. nga
Gikan sa materyal nga mga kabtangan hangtod sa paghimo sa katukma, gikan sa mga bentaha sa pasundayag hangtod sa praktikal nga pag-verify, ang kombinasyon sa mga linear nga motor ug mga base sa granite nagbag-o usab sa mga sumbanan sa mga sistema sa pagbalhin sa wafer. Sa umaabot kung ang teknolohiya sa semiconductor nag-uswag padulong sa 3nm ug 2nm nga mga proseso, ang mga materyales nga granite sigurado nga magpadayon sa pag-inject sa kusog nga impetus sa pag-uswag sa industriya sa ilang dili mapulihan nga mga bentaha.
Panahon sa pag-post: Mayo-14-2025