Pagkontrol sa Precision Motion: Pagtandi sa Air Bearing Stages ug Granite Systems sa Optical Metrology

Ang walay hunong nga pagpangita sa katukma sa nanometer-level sa paghimo og semiconductor ug dako nga optical inspection nagbutang og wala pa sukad nga mga panginahanglan sa mga motion control system. Ang mga inhenyero kanunay nga nag-atubang sa usa ka kritikal nga pagpili sa disenyo: ang frictionless elegance sa mga air bearing stage o ang lig-on, vibration-damping reliability sa granite-based mechanical stage. Sa ZHHIMG Group, among giila nga ang labing maayo nga solusyon kanunay anaa sa interseksyon sa material science ug fluid dynamics.

Ang Kinauyokan nga Debate: Mga Yugto nga Nagdala og Hangin batok sa mga Yugto nga Granite

Aron masabtan ang kalainan, kinahanglan tan-awon ang mekanismo sa pagkontak. Ang tradisyonal nga mga yugto sa granite kanunay nga naggamit ug taas nga katukma nga mekanikal nga mga bearings—sama sa cross-roller o ball slides—nga direktang gihiusa sa usa kabase sa granitoKini nga mga sistema gipabilhan tungod sa ilang taas nga kapasidad sa pagkarga ug talagsaong kalig-on. Ang natural nga mga kabtangan sa damping sa granite nagsiguro nga ang bisan unsang nahabilin nga pag-uyog gikan sa motor o palibot dali nga mawala, nga naghimo kanila nga usa ka staple sa heavy-duty metrology.

Sa kasukwahi, ang mga yugto sa air bearing nagrepresentar sa kinapungkayan sa hamis nga kahimtang. Pinaagi sa pagsuporta sa naglihok nga karwahe sa usa ka nipis nga pelikula sa pressurized air—kasagaran pipila lang ka microns ang gibag-on—kining mga yugto nagwagtang sa pisikal nga kontak. Kini nga kakulang sa friction gihubad ngadto sa zero stiction ug zero wear, nga nagtugot sa hilabihan ka makanunayon nga tulin nga gikinahanglan sa mga aplikasyon sa pag-scan. Samtang ang mga air bearing nagtanyag og labaw nga geometric accuracy, kini nanginahanglan og limpyo, uga nga suplay sa hangin ug kasagaran mas sensitibo sa eccentric loading kon itandi sa ilang mekanikal nga mga katugbang.

Pag-analisar sa mga Matang sa Optical Stages para sa Espesyal nga mga Aplikasyon

Ang natad sa optika nanginahanglan og espesyal nga mga profile sa paglihok, nga mosangpot sa pag-uswag sa lainlaing mga yugto sa optika. Ang pagpili sa husto nga tipo nagdepende sa gikinahanglan nga mga degree sa kagawasan ug sa palibot sa inspeksyon.

Ang mga linear optical stages tingali mao ang labing komon, nga naggamit sa lead screws para sa taas nga puwersa o linear motors para sa taas nga acceleration. Kung gikinahanglan ang nanometer-level nga straightness sa taas nga pagbiyahe, ang mga air-bearing linear stages kanunay nga gipares sa laser interferometers para sa feedback.

Ang mga rotary optical stages importante para sa mga sukod nga nagdepende sa anggulo, sama sa goniometry o pagsusi sa sentro sa mga elemento sa lente. Ang mga air bearing rotary stages labi ka mapuslanon dinhi, tungod kay kini nagpakita og hapit-zero nga axial ug radial runout, nga nagsiguro nga ang optical axis magpabilin nga hingpit nga naa sa panahon sa pagtuyok.

Ang mga multi-axis system, sama sa XY o XYZ stacks, kanunay nga gigamit sa automated wafer inspection. Niini nga mga configuration, ang pagpili sa granite base dili mausab. Ang granite naghatag sa gikinahanglan nga masa ug thermal inertia aron mapugngan ang paglihok sa usa ka axis nga makabalda sa katukma sa lain.

Ang Sinergy sa Granite ug Air Bearings

Usa ka kasagarang sayop nga pagsabot nga ang mga yugto sa pagdala sa hangin ugmga yugto sa granitedili magkasinabot sa usag usa. Sa tinuod lang, ang pinaka-abante nga mga sistema sa paglihok usa ka hybrid sa duha. Ang mga high-end air bearing stage halos eksklusibo nga naggamit og granite isip giya nga nawong. Ang hinungdan anaa sa abilidad sa granite nga mahimong patag sa sub-micron sa dagkong mga lugar—usa ka butang nga lisod makab-ot gamit ang aluminum o steel.

Tungod kay ang mga air bearings "mo-average" sa mga iregularidad sa nawong sa giya, ang grabeng pagkapatag sa usa ka granite beam nga gihimo sa ZHHIMG nagtugot sa air film nga magpabilin nga makanunayon sa tibuok nga pagbiyahe. Kini nga sinerhiya moresulta sa mga sistema sa paglihok nga naghatag sa labing maayo sa duha ka kalibutan: ang paglihok sa hangin nga walay friction ug ang lig-on nga bato sa granite.

Industriyal nga Metrolohiya

Pagmentinar ug mga Konsiderasyon sa Kalikopan

Ang pagpadagan niining mga sistema nagkinahanglan og estrikto nga pagkontrol sa kalikopan. Ang mga mekanikal nga granite stage medyo lig-on apan nagkinahanglan og pana-panahong lubrication ug paglimpyo sa mga bearing track aron malikayan ang pagtapok sa mga debris. Ang mga air bearing system, samtang walay maintenance sa termino sa lubrication, nagdepende sa kalidad sa pneumatic supply. Ang bisan unsang kaumog o lana sa air line mahimong mosangpot sa "orifice plugging," nga mahimong makadaot sa air film ug hinungdan sa grabe nga pagkontak sa ibabaw.

Dugang pa, ang thermal management importante kaayo. Ang duha ka sistema nakabenepisyo gikan sa taas nga thermal mass sa granite, nga nagsilbing heat sink para sa linear motors. Apan, sa mga aplikasyon nga nanometer-scale, bisan ang usa ka degree Celsius nga pag-usab-usab mahimong hinungdan sa dakong paglapad. Ang mga propesyonal nga laboratoryo kanunay nga naggamit og espesyal nga granite enclosures aron mapadayon ang usa ka lig-on nga micro-climate sa palibot sa stage.

Konklusyon: Pagpili sa Sakto nga Pundasyon para sa Imong Inobasyon

Bisan kon ang imong aplikasyon nagkinahanglan sa taas nga kapasidad sa pagdala sa karga sa usa ka mekanikal nga granite stage o sa ultra-smooth velocity control sa usa ka air bearing system, ang pundasyon nagpabilin nga labing kritikal nga sangkap. Sa ZHHIMG, dili lang kami naghatag og mga stage; naghatag kami sa geological ug mechanical nga kasiguroan nga gikinahanglan alang sa imong labing ambisyoso nga mga proyekto. Samtang ang mga industriya sa semiconductor ug optical nagpadulong sa mas hugot nga mga tolerance, ang among pasalig sa material excellence ug precision engineering nagsiguro nga ang imong motion control system dili gayud mahimong limitasyon sa imong panukiduki o produksiyon.


Oras sa pag-post: Enero 22, 2026