Ang mga sistema sa granite air bearing kay kaylap nga gigamit saultra-presisyonmga plataporma sa paglihok para sa paggama og semiconductor, optical alignment, ug nanometer-scale metrology.
Kini nga mga sistema nagwagtang sa mekanikal nga kontak pinaagi sa paggamit sa nipis nga pressurized air film, nga nakab-ot ang hapit-zero nga friction motion.
Prinsipyo sa Pagdala sa Hangin
Ang mga air bearings mogana pinaagi sa pagpaila sa compressed air taliwala sa duha ka mga nawong, nga moporma og 2–20 μm nga air film.
Kini makatangtang sa:
- Mekanikal nga pagkiskis
- Isul-ob
- Kinaiya sa pagkadulas sa stick
Ang sistema nagsalig sa fluid film dynamics ug lig-on nga laminar flow.
Papel sa Granite
Ang Granite naghatag:
- Kalig-on sa istruktura
- Pagpugong sa thermal drift
- Pag-uyog sa pagkurog
Kini nagsilbing mekanikal nga reperensya nga basehan para sa sistema sa paglihok.
Mga Komponente sa Sistema
- Base sa granito
- Mga pad sa bearing sa hangin
- Sistema sa suplay sa hangin
- Mga encoder sa katukma
- Sistema sa pagkontrol sa paglihok
Mga Kinaiya sa Pagpasundayag
Ang kasagarang performance naglakip sa:
- Katukma sa pagposisyon sa sub-micron
- Taas nga pagkatul-id sa taas nga pagbiyahe
- Walay mekanikal nga reaksyon
Ang mga nag-unang tinubdan sa sayop naglakip sa kawalay kalig-on sa presyur sa hangin, thermal drift, ug encoder error.
Mga Aplikasyon
- Inspeksyon sa semiconductor wafer
- Mga sistema sa litograpiya
- Mga plataporma sa pag-align sa optika
- Mga makina sa metrolohiya nga may taas nga kalidad
Mga Kanunayng Pangutana
Maguba ba ang mga air bearing?
Ang walay mekanikal nga kontak makawagtang sa pagkaguba.
Ngano nga gamiton ang granite?
Para sa kalig-on ug pagpamenos sa pag-vibrate.
Unsa ang naglimite sa katukma?
Kalig-on sa hangin ug mga epekto sa kainit.
Makadala ba silag bug-at nga mga karga?
Oo, depende sa disenyo.
Oras sa pag-post: Hulyo-03-2026